油擴散泵的應（yīng）用壓強範圍是10-1帕-10-7帕，它是利用氣體的擴散現象來排氣的，它具有結構簡單，操作方（fāng）便，抽速大（最高可以達到10+5升/秒）等特點。油擴散泵主要由泵殼、噴嘴、導流管和加熱器組（zǔ）成，裏麵主要添加擴散泵油（日本的型號是D-704#），根據（jù）噴嘴的多少可以分為單級泵和多級泵。 

        擴散泵（bèng）底部（bù）內儲存有擴散（sàn）泵油，上部為進氣（qì）口，右（yòu）側旁下（xià）部為出氣口，在工作時出氣口由機械泵提供前置壓強，機械泵充當前置泵。 

        當擴散泵的油被電爐加熱（rè）時，產生（shēng）的油（yóu）蒸汽提供前置壓強，機械泵充當前（qián）置泵。當擴散泵油被電爐加熱時，產生的油蒸汽（qì）沿著導流管經傘（sǎn）形噴嘴向下（xià）噴出。因（yīn）噴嘴外麵有機械（xiè）泵提供的（de）1-10-1帕的真空，故油蒸汽（qì）可噴出一（yī）段距離，構成一個向出氣口方向運動的射流。射流最（zuì）後碰上由冷（lěng）卻水冷卻（què）的泵（bèng）壁，凝（níng）結為液體，流回蒸發器，即靠油的蒸發——噴射——凝結，重複循環來（lái）實現抽氣的（de）。 

         由進（jìn）氣口進入泵內的氣體分子，一旦落入蒸汽流中，便獲得（dé）向下運動的動量，向（xiàng）下飛去，由於射流具（jù）有高的流速（約200米/秒），高（gāo）的蒸汽密度，且擴散泵油具有高的分子量（liàng）（300-500）故（gù）能有效的帶走氣體分子，因（yīn）此在射流的界麵內，氣（qì）體分子不（bú）可能長期滯留，且在射流界麵的兩邊，被抽氣體有很大的濃（nóng）度差，正是因為這個濃度差被抽氣體能不斷的越過界麵，擴（kuò）散（sàn）進入射流中，被帶往出口（kǒu）處（chù），在（zài）出口處再由機械泵抽走。 

         擴散泵（bèng）的油蒸汽壓是決定泵的極限真空的重要因素，因此盡量選用飽和蒸汽壓低的泵油，其化學特性要好。 

         擴散泵（bèng）不能（néng）單獨用來抽氣，一般要求泵的最（zuì）大出口壓強為40帕。擴散泵的抽速決定於第一級噴嘴與泵體進（jìn）氣口（kǒu）口徑間環形麵積的大（dà）小，抽速不是一恒定的（de）值，而是隨著（zhe）進氣口的（de）壓強（qiáng）而變化的，當壓強（qiáng）在10-2～10-3帕的時候，擴散泵（bèng）的抽氣速度是（shì）最快的，當壓強小於5*10-4帕之後，擴散泵的抽氣速度最小，幾乎沒（méi）有抽氣能力（此（cǐ）時，進氣口的壓強較高，由於空氣的密度較大，使蒸汽流形成不（bú）了高速射流以阻擋（dǎng）空氣的（de）反擴散，所以抽速下降）。 

        擴散泵在安裝前要清洗，之後才可以（yǐ）裝入擴（kuò）散油，油在加熱前，必須要先對泵抽真空（kōng），停（tíng）機（jī）前要先將擴散泵油冷（lěng）卻到60～70攝（shè）氏度，才可以關（guān）閉前級抽氣，最後關冷（lěng）卻水。 

       由於油擴散泵是無法杜絕有返油的幾（jǐ）率，那麽沒有辦法保證精密產品的100％純淨，特別是半導（dǎo）體行業，所以就有“高真空冷凝泵＋低真（zhēn）空機械泵（bèng）”所組成的無油（yóu）真空係統，冷凝（níng）泵組成的排氣係統不僅（jǐn）排（pái）氣效率極（jí）高，而且有效保證真空腔的清潔，保證產品的質量（避免產品被汙染、增強膜（mó）層與基板之間的附著力），但是其維護成本（běn）非（fēi）常的高，造價昂貴，所以普及率沒（méi）有油擴散泵廣泛。 

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