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現代真空鍍膜機膜厚的測(cè)量及監(jiān)控方法

作者: 來源: 日期:2016-01-12 16:12:17 人氣:111123
    最直接的鍍膜控製(zhì)方法(fǎ)是石英(yīng)晶體微量平衡法(fǎ)(QCM),這種儀器可以直接驅動蒸發源,通過PID控製(zhì)循環(huán)驅動擋板,保持蒸發(fā)速率。隻要將(jiāng)儀器與係(xì)統控製軟件相連接,它就可以控製整個的鍍膜(mó)過程。但是(QCM)的(de)精確度是有限(xiàn)的,部分原因是由(yóu)於它(tā)監控(kòng)的是被鍍膜的質(zhì)量而不是其光學厚度。
    此外雖然QCM在(zài)較低(dī)溫度下非常(cháng)穩定,但溫度較高時,它會變得對溫(wēn)度非常敏感。在長時間的加熱(rè)過程中,很難阻止傳感器跌入這個敏感區(qū)域,從而(ér)對(duì)膜層造成(chéng)重大(dà)誤差。
    光學監控是(shì)高精密鍍膜的的(de)首選監(jiān)控方(fāng)式,這是因為它可以更精確地控製膜層厚度(如果運用得當)。精確度的改進源於很多因素,但最根本的原(yuán)因(yīn)是對光(guāng)學厚度的監控(kòng)。
    OPTIMAL SWA-I-05單波長光學監控係統,是采(cǎi)用(yòng)間接測控,結合汪博士開發的先進光學監控軟(ruǎn)件,有效(xiào)提高光學反應對膜厚度變化靈敏度的理論和方法來減少終(zhōng)極誤差,提供了反饋或傳輸的選擇模式和大範圍(wéi)的監測波長。特別(bié)適合於各種膜厚的鍍膜監控包括非規整膜監控。
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