電(diàn)阻真空計(又叫皮喇尼真空計):
它主要由電熱絲、外殼和支架構成,主要是根據在低壓下,氣體的熱傳導係(xì)數與壓強成正比的方式工作的。上麵開(kāi)口處與(yǔ)被測真空(kōng)係統相連接,熱絲采用電阻溫度係(xì)數大的金屬絲做成,兩支支架引線與測量線路連(lián)接(jiē)。當壓強降低的(de)時候,由於氣體熱傳導散失的熱量減小,因此當熱絲(sī)加熱電(diàn)流穩定時候,則熱絲溫度就上升,熱絲的電阻就增大,用測量熱絲電阻值(zhí)的大小來間接測量壓強。
磁控放(fàng)電真空計: 工作原(yuán)理:在放(fàng)電開始時(shí),由於空間遊離電子向陽極運動時,在正交電磁場作用下,電子的軌跡不是直線而是螺旋線前(qián)進,又因(yīn)為陽極是框形,故電子不一定第一次就碰上陽極,而(ér)是穿過陽極,然後受到對麵陰極的拒斥,又複返回。這樣反複多次才(cái)可能打上陽極。由於電子路程大大加長,故碰撞及電(diàn)離的(de)分子數增加,使得在較(jiào)低壓強(10-4帕以下)仍維持放電(也稱潘寧放電)。
目前比較多的型號有PKR251、GI-PARY
放電管真空計:
在玻(bō)璃(lí)管中封入兩個金屬電極,在其上(shàng)加上(shàng)數(shù)千伏的直流高電壓,在(zài)一定的壓強範圍內(1*10-3~2*10托)內就能引起自持放電,通過放電顏色來判定其真空度 。 目前為止此種真空計已經很少使用,因為其誤差大,容易損壞,而(ér)且壽命不長。
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