排氣係統為(wéi)鍍膜(mó)機真空係統的重要部分,主(zhǔ)要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵(bèng)三大部分(fèn)組成。今天
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機械泵是應用最廣(guǎng)泛的一種低真空泵,它是用油來保持密(mì)封效果並依(yī)靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔(qiāng)的體積,使被抽(chōu)容器(qì)內氣體的體積(jī)不斷膨脹從而獲得真空。 機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此(cǐ)主要(yào)應用於(yú)大型設(shè)備)、活塞往複式、定(dìng)片式和旋片式四(sì)種類型。 機械泵常常被用來抽除幹燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有爆炸性和腐蝕(shí)性的氣(qì)體,機械泵一般被用來抽除永久性(xìng)的氣體,但是對(duì)水氣沒有好的效果,所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主(zhǔ)要(yào)作用的部件是定(dìng)子、轉子、彈片(piàn)等,轉子在定子裏麵但與定子不同(tóng)心軸,象兩個內切圓,轉子槽內裝有兩片彈片,兩彈(dàn)片中間裝有彈簧(huáng),保證了彈片(piàn)緊緊貼在定子(zǐ)的內壁。
它的兩個彈片交替起著兩方麵的(de)作用,一方(fāng)麵從(cóng)進氣口吸進氣體(tǐ),另一(yī)方麵壓縮已經吸進的氣體,將氣體(tǐ)排(pái)出泵外。轉子每旋轉一周,泵(bèng)完成兩次吸氣和兩次排氣(qì)。當泵連續順時針轉動時,旋片泵不斷的通過進氣口吸入氣體,又從排氣口不斷(duàn)的排出泵外,實現對容器抽(chōu)氣的目(mù)的。為了提高(gāo)泵的極限真空度,均將泵的定子浸在油裏麵這樣,在各處的間隙中及有害空間(jiān)裏(lǐ)麵經常保持足夠(gòu)的油,把(bǎ)空隙填滿,所以油一方麵起到了(le)潤滑作用,另一方麵又起了(le)密封和堵塞縫隙及有(yǒu)害空間的作用,防止氣體分子通過各種渠(qú)道反流到壓強低的空間去。
機械(xiè)泵是從(cóng)大氣開(kāi)始工(gōng)作的,它(tā)的(de)主要(yào)參數有極限真空,抽氣速率,此為(wéi)設計與(yǔ)選用機械泵的重要依據。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極(jí)限真空,雙級機械泵可(kě)以將容器從大氣(qì)抽到(dào)6.7*10-2帕,甚至更高。
抽氣速(sù)率,是指旋片(piàn)泵按額定轉數運轉時,單位時間內所能(néng)排出氣體的體積,可以用(yòng)下公式計算:
Sth=2nVs=2nfsL
fs表示(shì)吸氣結束(shù)時空腔截麵積,L表示空腔長度,係數表示轉子每旋轉一周有兩次排氣過程,Vs表示當轉子處於水平位置的時候,吸氣結束,此時空腔內的(de)體積最大,轉速為n。
機械泵排氣的效果還與電機的轉速及皮帶的鬆緊度有關係,當(dāng)電機的皮帶比較鬆,電機轉速很慢的時候,機械泵的(de)排氣效果也(yě)會變差,所以要經常保養,點檢,機械泵油的密封效果也需要常常點檢(jiǎn),油過少,達不到密封(fēng)效果,泵(bèng)內會漏氣(qì),油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣(qì)和排氣,一般(bān),在油位在線下0.5厘米即可。