磁控（kòng）濺射膜常見故障的排除

膜層灰暗及發黑

(1)真（zhēn）空度低（dī）於 0.67Pa。應將真空度提高到 0.13-0.4Pa。

(2)氬（yà）氣純度低於 99．9％。應換用（yòng）純度為 99．99％的氬氣。

(3)充氣係統漏氣。應檢查充氣係統，排除（chú）漏氣現象。

(4)底（dǐ）漆未充分固化。應適當延（yán）長底（dǐ）漆的（de）固化時間。

(5)鍍件（jiàn）放氣（qì）量（liàng）太大。應進（jìn）行幹燥和封（fēng）孔（kǒng）處理 膜層表麵光澤（zé）暗淡

(1)底漆固（gù）化不良或變質（zhì）。應適當延長底（dǐ）漆的固化時間或更（gèng）換底漆。

(2)濺射時間太長（zhǎng）。應適當縮短。

(3)濺射成（chéng）膜（mó）速（sù）度太快（kuài）。應適當降低濺射電流或電壓

膜（mó）層色澤不均

(1)底漆噴塗得不均勻（yún）。應改進底漆（qī）的施塗方法。

(2)膜層太薄。應適當提高濺射速（sù）度或延長（zhǎng）濺射時間。

(3)夾具設計不合理。應（yīng）改進夾具設計。

(4)鍍件的幾何形狀（zhuàng）太複雜。應適當提高鍍件的旋轉速度（dù）

膜層發皺、龜裂（liè）

(1)底漆（qī）噴塗得太厚。應（yīng）控製在 7—lOtan 厚度範圍內。

(2)塗料的粘度太高。應適當降低（dī）。

(3)蒸發速度太快。應適當減慢。

(4)膜層太厚。應（yīng）適當縮短（duǎn）濺（jiàn）射時間。

(5)鍍件溫度太高。應適當縮短對（duì）鍍件的加溫時間

膜層表（biǎo）麵有水跡（jì）、指紋及灰粒

(1)鍍件清洗後未充分幹燥。應加強鍍前處理。

(2)鍍件表麵濺上水珠或唾液。應加強（qiáng）文明生產，操作者應帶口罩。

(3)塗底（dǐ）漆後手接觸過鍍件，表麵留（liú）下指紋。應嚴禁用手接觸鍍件表麵。

(4)塗料中（zhōng）有顆粒物。應過濾塗料或更換塗（tú）料（liào）。

(5)靜電除塵失效或噴塗和固化環境中有（yǒu）顆粒灰（huī）塵。應（yīng）更換除塵器，並保持工作環（huán）境的清潔

膜層附著力不良

(1)鍍件除油（yóu）脫脂不徹底。應加強（qiáng）鍍前處（chù）理。

(2)真空室內不清潔。應清洗真空室。值得注意的是，在裝靶和拆靶的過程中，嚴禁用手 或不幹淨的物體與磁控源接觸，以保（bǎo）證磁控源具有（yǒu）較高的清潔度（dù），這是提高膜層結合力的 要措施（shī）之一。

(3)夾具不清潔（jié）。應清洗夾具。

(4)底塗料選用不當。應（yīng）更（gèng）換塗料。

(5)濺（jiàn）射工藝條件控製不當。應改進濺射工藝（yì）條件