真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的（de）鍍膜，具體包括很多種類，包（bāo）括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分（fèn）子束外延，PLD激光（guāng）濺射沉（chén）積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。真空鍍膜機是目前製作（zuò）真空條件應用最為廣泛的（de）設備，對其操作程序的了解是至關重（chóng）要的環節，在真空鍍膜機的（de）具體操作過程中建議參照以下標注說明：

        一（yī）、 檢查真空鍍膜機各操作控製開關是否在"關"位置。

        二、打開總電源開關，設（shè）備送（sòng）電。

        三、低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流聲後，啟動（dòng）升鍾罩閥，鍾罩升起。

        四、安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在（zài）轉動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內。清理鍾罩內各部位，保證無（wú）任何雜質汙物。

        五、落下鍾罩。

        六、啟動抽（chōu）真空機械泵。

        七、開複合真（zhēn）空計電源(複（fù）合真空計型號:Fzh-1A)。

               1）左旋鈕"1"順時針旋轉至指向2區段的加熱（rè）位置（zhì）。

               2）低（dī）真空表"2"內指針順時針移動，當指針移動至110mA時，左旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

        八、當低真空表"2"內指針再次順時針移動（dòng）至6.7Pa時（shí），低壓閥推入。這時左旋鈕"1"旋轉至指（zhǐ）向（xiàng）1區段測量位置。

        九、 真空鍍膜機開通冷卻水，啟動擴（kuò）散泵，加熱40min。

        十、低壓閥拉出。重複一（yī）次⑦動作程序:左下旋鈕"1"轉至指向（xiàng）2區段測量位置。低真空表"2"內指針（zhēn）順時針移動，當指針移動至6.7Pa時，開高壓閥(閥杆順時針旋轉)。

        十一、等低真空表"2"內指針右（yòu）移動至0.1Pa時，開規管燈絲開關。

                1）發（fā）射、零點測量鈕"9"旋轉至（zhì）指向發射位置。

                2）左下旋（xuán）鈕"1"旋轉（zhuǎn）至指向1區段測量位置。

        十二、 旋轉發射調節鈕"4"，使高壓真空表"5"內指針指向5。

        十三（sān）、 發射、零點、測（cè）量（liàng）旋鈕"9"旋轉至指向零點位置。

        十四、旋轉（zhuǎn）零點調節鈕"10"，讓高壓真空（kōng）表"5"內指針指向0位置（zhì）。

        十五、 發射（shè）、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向測量（liàng）位置。

        十六、旋轉標準調（diào）節鈕"3"，讓高壓真空（kōng）表"5"內指針指向10。

        十七、旋轉"倍加器"開關（guān）鈕"8"至指向10-12，當（dāng）高壓（yā）真空表"5"內指針逆時針左（zuǒ）移超（chāo）過1時，再（zài）把"倍加器"開關旋鈕"8"旋轉至（zhì）指向10-3。

        十八、當高壓真空表"5"內指針（zhēn）逆時針移動超（chāo）過6.7Pa時，開工件旋轉鈕開關，鍾罩內被鍍件PVDF膜轉動。

        十九（jiǔ）、開蒸發鈕開關。把電流分插（chā）塞插入蒸發電極分配孔內(設有1、 2、 3、 4孔（kǒng），可插入任意一孔)。

        二十、 右（yòu）手（shǒu）旋轉右側調壓器手輪，慢慢旋轉升壓。

                  1）從視鏡窗口（kǒu）觀察鎢螺旋加熱子的加熱溫度（dù）顏色變化情況。

                  2）當鎢螺旋加熱子顏（yán）色變成（chéng）黃橙色，鋁絲開始熔化時（shí），左手操作擋板鈕，移開鎢螺（luó）旋上方擋板（bǎn）。

                  3）鋁絲全部熔化蒸發，擋板回原位。

                  4）右手（shǒu）旋轉（zhuǎn）調壓（yā）器手輪（lún）回零位。第一次（cì）蒸（zhēng）鍍工作完成。

        二十一、 如果再想蒸鍍一次(為了增加電極（jí）金屬層（céng）厚（hòu）度):把電流分插（chā）塞撥出插入另一個電極分配孔。重複⑳操作動作。

        二（èr）十二、 關閉規管（guǎn）燈絲開（kāi）關。關閉高壓閥(逆時針轉手柄)。關閉工件旋轉。關閉蒸發。旋（xuán）轉機械泵（bèng）鈕至指向（xiàng）擴散泵位置。

        二十三、 低壓閥拉（lā）出。鍾（zhōng）罩充（chōng）氣（qì）。充（chōng）氣一段時間，當沒（méi）有氣（qì）.聲時，升鍾（zhōng）罩。

        二十（shí）四、鎢螺旋加熱子內加鋁絲。PVDF薄膜調換另一麵（miàn）向下 (原下麵（miàn）已鍍一層鋁膜麵向上)。緊固（gù）在轉動圓盤上。

        二（èr）十五、 落鍾罩。開機械泵。

                    1） 左下旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置 。

                    2）當低壓真空（kōng）表"2"內指針順時針移動（dòng）到6.7Pa時，低壓（yā）閥（fá）推入。

                    3） 左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置（zhì）。

                    4）當低壓（yā）真空表"2"內指（zhǐ）針順時針移動到6.7Pa時，開高壓閥。旋鈕"1"旋轉至指（zhǐ）向2區段測量（liàng）位置。

                    5）當低壓真空（kōng）表"2"內（nèi）指（zhǐ）針順時針移動到指（zhǐ）向0.1Pa時，開規管燈絲。

                    6）由⑰開始重複操作（zuò）至⑳ 。

        二十六（liù）、 正常（cháng）生產中，如遇到突然停電時，要立即切（qiē）斷高真空測量，關閉規（guī）管燈絲，高壓閥、低壓閥拉出。來電後，先讓機械泵啟動（dòng）工作3~5min後，再轉入正常生（shēng）產。