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真空蒸鍍、濺鍍、離子鍍
真空鍍主要包括真空蒸鍍、濺射鍍和離子鍍幾種類(lèi)型,它們都是采用在真空條件下,通過蒸餾或濺射等方式在塑(sù)件表麵沉積各種金屬和非金屬(shǔ)薄膜,通(tōng)過(guò)這樣的方式可以得到非常薄的表麵(miàn)鍍層(céng),同時具有速度快附著力(lì)好的突出優點,但是價格也較高,可以進行操作的金(jīn)屬類型較少,一般用來作較高檔產品的功能性(xìng)鍍層。
真空蒸鍍法是在高真空下為金屬(shǔ)加(jiā)熱,使其熔融(róng)、蒸發,冷卻後在樣品表麵形成金屬薄膜(mó)的方法,鍍層厚度為0.8-1.2um。將成形品表麵的(de)微小凹(āo)凸部分填平,以獲得如鏡(jìng)麵一樣的表麵,無任是為了得到(dào)反射鏡作用而實施真空蒸鍍,還是對密接性(xìng)較低(dī)的(de)奪鋼進行(háng)真空蒸鍍時,都必須進行(háng)底(dǐ)麵塗布處理。
濺鍍通常指的是磁控(kòng)濺鍍,屬於高速低溫濺鍍法。該工藝要求真空度在1×10-3Torr左右,即1.3×10-3Pa的真空狀態充入惰性氣體氬氣(Ar),並在塑膠基材(陽極)和金屬靶材(陰極)之間加上高壓直流電,由於輝光放電(glow discharge)產生的(de)電子激發惰性氣體(tǐ),產(chǎn)生等離子(zǐ)體,等離子體將金屬靶材的原(yuán)子轟出,沉積在塑膠基材上。一般金屬鍍(dù)膜大都采用直流濺(jiàn)鍍,而不導電的陶磁材料則使用RF交流濺(jiàn)鍍。
離子鍍是(shì)在真空條件(jiàn)下,利用氣體放電使氣體或被(bèi)蒸發物質部分(fèn)電離,並在氣體離子或被蒸發(fā)物質離子的轟擊下,將蒸發物質或其反應物沉積在基片上的(de)方法(fǎ)。其中包括磁控濺射離子鍍、反應離子鍍、空心陰極放電離子鍍(空心陰極(jí)蒸鍍法(fǎ))、多弧離子鍍(陰極電弧離子鍍)等。