對於真空鍍膜機設備的分類,到底了解(jiě)多少?
真(zhēn)空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜設備,包括真(zhēn)空離子蒸發鍍膜機、磁控濺鍍膜機射、
MBE分子束(shù)外延鍍膜機和PLD激光(guāng)濺射沉積鍍膜機等很多種。
主要是(shì)分成蒸發(fā)和濺射兩(liǎng)種。
在真空鍍膜設備中需要(yào)鍍膜的被成為基片,鍍的材料被成為(wéi)靶材。
基(jī)片與靶材同(tóng)在真空腔中。
蒸發鍍膜一般是加熱靶材使(shǐ)表麵組分以原子團或離(lí)子形式被蒸(zhēng)發(fā)出來,並且沉降在(zài)基片表麵,通過成膜(mó)過程(chéng)形成薄膜。
真空(kōng)鍍(dù)膜機對於濺射類鍍膜,可以簡單理解為(wéi)利用電子或高能激光轟擊靶材,並使表麵組分以原子團或離子形式被濺射出來,
並且最終沉積在基片表麵,經曆成膜過程,最終形成薄(báo)膜。爐體可選擇由不鏽鋼、碳鋼或它們的組合製(zhì)成的(de)雙層水冷結構。
根(gēn)據工藝要求選擇不同規格(gé)及類型鍍膜設備,其類型有電阻蒸(zhēng)發真(zhēn)空鍍膜設備(bèi)、電子束(shù)蒸發真空鍍膜(mó)設備、
磁(cí)控濺射真空鍍(dù)膜設備、離子鍍真空鍍膜設備、磁控反應濺射真空鍍膜設備、空(kōng)心陰極離子鍍和多弧離子(zǐ)鍍等。
夾具運轉形式有自轉、公轉(zhuǎn)及公轉+自轉方式,用戶可根據片尺寸(cùn)及形狀提出相應要(yào)求,轉動(dòng)的速度範圍及(jí)轉(zhuǎn)動精度:普通可調及變頻調速等(děng)。