低真空的獲得  

獲得低真空常采用（yòng）機械泵，機械泵是（shì）運用機械方法不斷地改變泵內吸氣空腔（qiāng）的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨（péng）脹，從而獲得（dé）真空的裝置。

它（tā）可以直接在大氣壓下開始工作，極限真空度一般為（wéi）1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速率與轉速（sù）及空腔體積V的（de）大小（xiǎo）有（yǒu）關，一般在每秒幾升到每秒幾十（shí）升之（zhī）間。

高（gāo）真空的獲得 

目（mù）前，廣泛使用的獲得高真空的（de）泵就是擴散泵。擴散泵是利用氣體擴散現象來抽氣的，它不能直接在大氣壓下工作，而需要一定的預備真空（kōng）度（dù）（1.33-0.133Pa）。

油擴散泵（bèng）的極限真空度主要取決於油蒸汽壓和氣體分子的反擴（kuò）散，一般能達（dá）到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣速率與結構（gòu）相關，每秒幾升--幾百升不等。