真空電鍍設備膜厚的不均勻問題
作者: 來源: 日期(qī):2017-10-25 16:07:52 人氣:4797
無(wú)論監控儀精度怎(zěn)樣,它也隻能(néng)控製真空室裏單點位(wèi)置的膜厚,一般來講是工件架的中間位置。如果(guǒ)真空電鍍設備此位置的膜(mó)厚不是絕對(duì)均勻的,那麽遠離中心位(wèi)置的基片就無法得到均勻(yún)的厚度。雖然屏(píng)蔽罩(zhào)能消除表現為(wéi)長期的不均勻性(xìng),但有些膜厚度(dù)的變(biàn)化是由蒸發源(yuán)的不穩定或膜材的不同表(biǎo)現而引起的,所以幾乎(hū)是不可能消除的,但對真空室的結構和蒸發源的恰當(dāng)選擇可以使這些影響(xiǎng)最(zuì)小(xiǎo)化。
在過去幾年中,越來越多的用(yòng)戶要求鍍膜係統製造廠家提供高性能的小規格、簡便型光學鍍膜係統,同時,用(yòng)戶對性能的要求(qiú)不僅沒有降低,反而有所(suǒ)提高,特別是(shì)在薄膜密(mì)度和保證吸水後光譜變化最小化等方麵。
現在,係統(tǒng)的平均尺寸規格已經在降低,而應用小規格設(shè)備進行(háng)光學(xué)鍍(dù)膜的生產也已經轉變成為純技術問題。因此(cǐ),選用現代化光(guāng)學鍍(dù)膜係(xì)統的關鍵取決於對以(yǐ)下(xià)因素的認真考慮:對鍍膜產品的預期性能,基片的尺寸大小(xiǎo)和物理特性以及保證高度一致性工藝所必需的所有技術因素。