1、真空鍍膜設備每完成200個鍍膜程序以上，應清潔工作室（shì）一次。方法是:用燒堿(NaOH)飽和溶液反複擦洗真空室（shì）內壁，( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷（shāng）)目的是使鍍上去（qù）的膜料鋁(AL)與NaOH發生反應（yīng），反應後膜層脫落，並釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和（hé）用布沾汽油（yóu）清洗精抽閥內的汙（wū）垢。
2、當粗抽泵(滑閥泵，旋片泵)連續工作一個月(雨季減半)，需更換新油。方法是:擰開放油螺栓，放掉舊油（yóu），再將泵啟（qǐ）動（dòng）數秒，使泵內的舊油完全（quán）排放出來（lái）。擰（nǐng）回放油螺栓，加入新油至（zhì）額定量(油視鏡觀察)。連續使用半年（nián）以上，換油時應將油蓋打開，用（yòng）布擦（cā）幹淨箱內汙垢。
3、擴散泵連續使用6個月以上，抽速明顯變慢，或操作失當，充入大氣，拆去聯結水（shuǐ）管，卸下電爐盤，將一級噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然後用清水（shuǐ）徹底清洗幹淨，待水份揮發幹（gàn）以後，裝好泵膽，加入新擴散泵油，並裝回機體，接好（hǎo）水管，裝好電爐盤，便可以重新開（kāi）機。在重新開機前，要注（zhù）意檢（jiǎn）漏工（gōng）作。方法是:啟動維持泵，關好大門，數分鍾後，觀察擴散泵部（bù）分真空度是否達到6X10帕，否則要進（jìn）行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠（jiāo）圈，或壓壞密封（fēng）圈。排（pái）除漏氣隱（yǐn）患後方可加熱，否則擴散（sàn）泵油會燒環，無法進入工作狀態。

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