隨著科技的發展，真空鍍膜工藝技術已經在：太陽能（néng）集（jí）熱管、太（tài）陽能電池、磁帶、光（guāng）盤（pán）、半導體器件、光學（xué）器件、光電顯示器件、玻璃、工模具和（hé）切削刀具的超硬塗層、汽輪機葉片的抗熱塗層、五金製品、手表（biǎo）、手機和眼鏡的裝飾、塑料製品金屬化、包裝用塑（sù）料薄膜等多個領域廣（guǎng）泛應用。

真空鍍膜設備有多（duō）種（zhǒng）規格的單室機和多室連續機。工藝（yì）方法上（shàng）可分為：真空蒸鍍、離子鍍、濺射鍍、束流沉（chén）積鍍以及分子束外延等。真空鍍膜設備的運行性能直接（jiē）影響生產工藝、產品質量和生產，為了使設（shè）備的運行性能正常，必須建立和完善設備的；維護與（yǔ）維修製度、維護內容（róng）、維修標準等。

一、維護與維（wéi）修製度，為了使真空鍍膜設備在維護、維（wéi）修及生產過程中（zhōng）出現問題能（néng）得到（dào）及時收集、傳遞、分析和處理. 而（ér）製定的管理製度。

1.有完善的製度,如設備的使用操作規程。維（wéi）修人員在（zài）維修時應掛放“正在維修”牌（pái），並切斷電源以防他（tā）人使用（yòng）機器設備等.

2.在工（gōng）廠生產管理中,設備的維護與維修是重要的一方麵。應該有專職的、能力（lì）強的維（wéi）修人員（yuán）負責。

二（èr）、設備的維護（hù），維護可分為：日常維護（hù）和定期維（wéi）護。

1.日常維護就是在當天生產中發現設備有不良跡象，就馬上解決。發現機械泵的油少了（le）就要添加，不（bú）要認為這油是（shì）定期更換的，等到了時間（jiān）在（zài）維護，可能泵的轉子就會磨損嚴重了。再（zài）比（bǐ）如（rú）工件轉架的軸承有些卡，就要更換軸承，而等到它徹底的壞了再換，問（wèn）題可就大了，可能引起轉（zhuǎn）架電機燒毀等。

2.定期（qī）維護，有人會問有了日（rì）常（cháng）維護還有必要定期維護（hù）嗎？其實每一（yī）種設備都有自己使用壽命，比如擴散泵用的矽油（yóu）使用壽命為2年左右，我就規定1年半就把它換掉，這樣做（zuò）是（shì）不是浪費，我覺的不（bú）浪費，從設備服務於生產來說是值得的（de），老板最不希望（wàng）看到（dào）的是機器在生（shēng）產階段出現問題。隻要（yào）你把日常維護和定期（qī）維護做好了，在延長設備壽命的同時，生產過（guò）程中出現故障的幾率也（yě）大大降低（dī），生產效率也提高了。

三、設備維修（xiū）：說到維修很（hěn）多人（rén）都頭（tóu）疼的（de）是真空部分的（de）漏氣，真空部分出了問題比較麻（má）煩，再加上很多公司沒有檢漏儀，這就要分階段（duàn）來找。真空抽不上去原因（yīn）可能有以（yǐ）下幾點：

1.也（yě）許是漏率偏高就是（shì）我們常說的有漏氣；

2.也許是真空機組的（de）抽氣能力不夠了（le），油被汙（wū）染或氧化了；

3.也許（xǔ）是真空室內太髒放氣。

或者是這幾種可能都有。出現問題，首先是要判（pàn）斷，是不是拆裝過東（dōng）西（xī）？會不會漏水？閥門打開了嗎？根據現象判斷原因，然後再（zài）去根據判斷找問題，可能會收到事半功倍的效果。有次（cì）我們清洗弧蒸發（fā）源，清洗（xǐ）完裝上一試抽真空比以前慢（màn）了，就懷疑是弧蒸（zhēng）發源漏氣，後來（lái）經過（guò）檢查是弧（hú）蒸發源的一個（gè）密封圈本來是要更換的，在裝配時（shí）認（rèn）為還可以就（jiù）沒有更（gèng）換，結果就造成了漏氣。