化學氣相沉積是一種（zhǒng）製備材料的氣相（xiàng）生長方法，它是把一種或幾種含有構成薄膜元素的化（huà）合物、單質氣體通入放置有基材的反應室，借助空間氣相化學反應在基體表麵上沉積固態薄膜的工藝技術。化學氣相沉積(Chemical vapor deposition，簡稱CVD)是反應物質在氣（qì）態條件下發生化學反應，生成固態物質沉（chén）積在加熱的（de）固態基體表麵，進而製得固體材料的工藝技術。它本質上（shàng）屬於原子範疇的氣態傳質過程。與之相對的是物理氣相沉積（PVD）。