CJ係列磁控(kòng)濺射真空鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣(qì):78061
CJ係列磁控濺射真空(kōng)鍍膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟(hōng)擊(jī)物體,從而引起物體表麵原(yuán)子從(cóng)母體中逸出的現象。早在1842年(nián)Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為曲線形,均勻電場和對數電場則分別(bié)用於平麵靶(bǎ)和同軸圓柱靶。電子在電場作用下,加速飛向基片的過(guò)程中與氬原子發生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在(zài)電場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並(bìng)以高(gāo)能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。
廣泛應用於(yú)家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術(shù)品、玩具、車燈反光罩、手(shǒu)機按鍵外殼以及(jí)儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚(zhuān)等表麵裝飾性鍍(dù)膜及工模具的功能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝(zhuāng)飾膜、導電膜等領域有優勢。
1)、膜厚可控性和重複性(xìng)好。能夠可靠的鍍製預定(dìng)厚度的薄膜,並且濺射(shè)鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基(jī)片的附著力強。部分高能量的(de)濺射原子(zǐ)產生不同程度的注入現象,在基片上形成一層濺射原子與基片原子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特(tè)殊材料的薄膜,可(kě)以使用(yòng)不同的材料同時濺射製備混合膜、化(huà)合(hé)膜,還可濺射(shè)成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高,濺射膜層中(zhōng)不會(huì)混入坩鍋加熱器材料的成份(fèn)。
5 )、裝備低溫(wēn)離子(zǐ)輔助(zhù)源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。
CJ係列磁控濺(jiàn)射真空鍍膜機 | | | | | |
型號(hào) | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵(bèng)機組 | KT800擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 直流或中頻電源、鍍膜輔助離(lí)子專用電(diàn)源 |
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計 |
控製方式 | 手動或全(quán)自動 | 手動或全自動(dòng) | 手動或(huò)全自動 | 手動或全(quán)自動 | 手動或(huò)全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
極限真空(kōng) | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備(bèi)注 | 以上設備參數僅做參考,具體均(jun1)按客戶實際工(gōng)藝要求設計訂做(zuò) |