當前(qián)位置:首頁|CJHL係列磁控多弧真空鍍膜機
工作原理
應用範圍
產品特點
技(jì)術參(cān)數表
CJHL係列磁(cí)控多弧真(zhēn)空鍍膜機 | |||||||
型號(hào) | CJHL-600 | CJHL-800 | CJHL-1000 | CJHL-1200 | CJHL-1400 | CJHL-1500 | CJHL-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴(kuò)散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統(tǒng) | 直流電(diàn)源或中頻電源+多弧鍍膜電源(yuán)、多功能孿生磁環弧靶+矩形平麵靶(bǎ)+圓柱(zhù)磁控多弧兩用(yòng)靶(可選配) | ||||||
輔助鍍膜係統 | 低溫離子輔助源(除(chú)工具鍍外無需加(jiā)溫係(xì)統) | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流(liú)量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | 手動(dòng)或全自動 | 手動或全(quán)自(zì)動 | 手動(dòng)或全自動 | 手動或全自動 | 手動(dòng)或全自動 | 手動或全自動 |
抽(chōu)氣(qì)速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝(yì)要求設計訂做 |