SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:24956
SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機

工作原(yuán)理(lǐ)

電子束蒸發是將膜材放入水(shuǐ)冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱,使膜材中的原子或分子從表麵汽化逸出後入射到基片表麵凝結成膜。電子束蒸發比一般電阻加熱(rè)蒸發熱效率高、束流密度大(dà)、蒸發速度快,製成的薄(báo)膜純度高。

應用(yòng)範圍

光學(xué)鍍膜設備可(kě)鍍製層數較多的短波通、長波通(tōng)、增透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介(jiè)質膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜係,能(néng)夠實現0-50層膜(mó)的(de)膜係鍍膜,也(yě)能滿足如汽(qì)車反光(guāng)玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍膜要(yào)求。配置不同的蒸發源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍(dù)多種膜係,對(duì)金(jīn)屬(shǔ)、氧化物、化合物及其他高熔點膜材皆可蒸鍍

產品特(tè)點

1)  光學(xué)鍍膜配備有石(shí)英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合實現對整個工作過程的(de)自動控製,工(gōng)作效率和產品質量重複性一致性優良.
2)適用於光(guāng)學領域行業,大規模工業生產要求的(de)廠商使用。

技術參數表

SF係列電子束蒸發光(guāng)學真(zhēn)空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵(bèng)機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵(bèng)機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸發源(yuán)、鍍膜輔助離子(zǐ)專用(yòng)電源或(huò)霍爾離(lí)子源
充(chōng)氣係統壓強控製儀
控製方式手動或半自動(dòng)
膜厚監控係統石英晶體膜厚監控係統
抽氣速率(lǜ)5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
友情鏈接: 三菱伺服電機  鐵(tiě)件(jiàn)鍍錫  粉塵檢測儀  鋼筋(jīn)桁架樓承板  環氧自流平施工  紅木(mù)家具(jù)  法(fǎ)蘭盤  水穩攪(jiǎo)拌站  端子截麵分析儀  鈹銅板 
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