工作原(yuán)理(lǐ)
應用(yòng)範圍
產品特(tè)點
技術參數表
SF係列電子束蒸發光(guāng)學真(zhēn)空鍍膜機 | |||||||
型號 | SF-800 | SF-1200 | SF-1400 | SF-1600 | SFW-1000 | SFW-1200 | SFW-1600 |
真空室尺寸 | Φ800×1000MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1000×1100MM | Φ1200×1400MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 電子槍蒸發源(yuán)、鍍膜輔助離子(zǐ)專用(yòng)電源或(huò)霍爾離(lí)子源 | ||||||
充(chōng)氣係統 | 壓強控製儀 | ||||||
控製方式 | 手動或半自動(dòng) | ||||||
膜厚監控係統 | 石英晶體膜厚監控係統 | ||||||
抽氣速率(lǜ) | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做 |