彩色係膜層和常規（guī）色膜層區（qū）別就是（shì）C值和H值，所以可以說，黑色也是彩色係膜（mó）層。

鋯（gào）＋氮氣：黃綠調金黃色
鋯＋甲（jiǎ）烷：深淺黑色
鋯（gào）＋氧氣：白色、透明膜
鋯＋氮氣（qì）＋甲烷：金色、仿玫瑰金

鉻＋甲烷：深淺黑（hēi）色
鉻＋氮氣：淺黑色
鉻＋氮氣＋甲烷：銀（yín）灰色（sè）
鉻＋氧氣：輕黃色、紫色、綠色

SUS＋氧（yǎng）氣：紫（zǐ）色
SUS＋氮氣：藍色（sè）
SUS＋甲烷：亮黑色
SUS＋甲烷＋氮氣：藍黑色

矽＋氮氣：黑色
矽＋氧氣：混濁白、透（tòu）明膜
矽＋甲烷：黃色、綠色、藍色、黑（hēi）色(靶材純度高（gāo）於99%僅能調黑色)

鈦＋氧氣：光學膜七彩截色（sè），不多介紹都（dōu）懂。
鈦＋甲烷：深淺（qiǎn）黑（hēi）色( DLC製備不能達標)
鈦＋氮氣：仿金（jīn）色、黃（huáng）銅色、紫色、紅色
鈦＋氮氣（qì）＋甲烷：仿玫（méi）瑰金、黑綠色、複（fù）古黃、棕色、紫色

鎢＋氮氣：棕黃色
鎢＋甲烷（wán）：深淺黑色
鎢＋氧氣：紫色，鮮黃色（sè），棕色，藍色（sè）

以上僅裝飾薄膜常用材料及（jí）其常用氣體，通常甲烷和乙炔都可互替，但涉及部分顏色甲烷效（xiào）果更好。

下一個：磁控濺射過程中常見問題的解決方案