工作原理
應用範圍
產品特點(diǎn)
技術參數表
HL係列多弧離子真空鍍膜機 | |||||||
型號 | HL-600 | HL-800 | HL-1000 | HL-1200 | HL-1400 | HL-1500 | HL-1600 |
真(zhēn)空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真(zhēn)空機(jī)組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機(jī)組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍(dù)膜係統 | 專用多弧(hú)鍍膜電源+多(duō)功能孿生磁環弧靶+柱形弧靶(bǎ)(可選配) | ||||||
輔助鍍膜係(xì)統 | 低溫離子輔助源(除工具鍍外無需加溫係統) | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | 質量(liàng)流量(liàng)計 | 質量流量計 | 質量(liàng)流(liú)量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量(liàng)流量計 |
控(kòng)製方式 | 手(shǒu)動(dòng)或全(quán)自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全(quán)自動 |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備注 | 以上設備參(cān)數僅做參考(kǎo),具體均按(àn)客戶實際工藝要(yào)求設計訂做 |