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如何掌控真空鍍膜的均勻性

作者(zhě): 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人(rén)氣:2512
如(rú)何掌控真(zhēn)空鍍膜的均勻性(xìng)
我們先來認(rèn)識下(xià)怎麽(me)調試鍍膜機,因為(wéi)掌握調試鍍膜機是使用鍍膜機的關鍵怎麽調(diào)試鍍膜機
1、測(cè)試設備的抽真空速度,在(zài)測試(shì)過(guò)程(chéng)中檢查漏(lòu)氣情況(kuàng)與各真空泵的性能;
2、測試設備的密封性能,就是抽到極限後(hòu)保壓1小時看壓降是否達標,同時排除細小的漏(lòu)孔;
3、產品試作,檢(jiǎn)驗其他的性能,比如傳動、加熱、絕緣等等;
4、如(rú)果有工藝保證的話就繼續打樣並作測試。
5、所有的測試應(yīng)作記錄,並有(yǒu)記錄人簽字以及有使用部門或工程部(bù)門的人確認簽字

怎麽掌控真空鍍膜的均(jun1)勻(yún)性?
由於車燈鍍膜機原理的不同分(fèn)為(wéi)很多種類,僅僅因為都需要高真空度而擁有統一名稱。所以對於不同原理的(de)真空鍍膜,影響均勻性的因素也不(bú)盡相同。並且均勻性這個概念本身也會隨著鍍膜尺度(dù)和薄膜成分而有著不同的意義,下麵分別說一下:

均勻性主要體現在3方麵:

1、厚度上的均勻性,也可以理解為粗糙(cāo)度,在光學薄(báo)膜的尺度上(shàng)看(也就是1/10波長作為單位,約(yuē)為100A),真(zhēn)空鍍膜的(de)均(jun1)勻性已經相當好,可以輕鬆將粗糙度控製在可見光波長的1/10範圍內,也就是說對於多弧離子鍍膜機的光學特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。但是如果是指原子層尺(chǐ)度上的均勻(yún)度,也就是說要實現10A甚至1A的表麵平整,是現在真空鍍膜中主要(yào)的技術(shù)含量與技術瓶頸所在。
2、化學組分上的均勻性:就是(shì)說在薄膜中,化合物的原子組分會由於尺度過小而很容易(yì)的產生不均勻特性,SiTiO3薄膜(mó),如果濺控濺射鍍膜(mó)機過(guò)程不科學,那麽實際表麵(miàn)的組分並不(bú)是SiTiO3,而可(kě)能是其(qí)他的比例,鍍的膜並非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜的技術含量所(suǒ)在(zài)。
3、晶格有序度的均勻(yún)性:這決定了薄膜是單晶,多(duō)晶,非晶,是真(zhēn)空(kōng)鍍膜(mó)技術中的熱(rè)點問題。 
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